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    颠覆性突破!ASML发布超级EUV光刻机:可量产0.2nm工艺

      [  中关村在线 原创  ]   作者:超超
    nb.zol.com.cn true https://nb.zol.com.cn/878/8781357.html report 420 近日,荷兰光刻机巨头ASML公司(ASML)宣布,其最新研发的超级EUV(极紫外线)光刻机已具备量产0.2nm工艺的能力,这一里程碑式的进展无疑将再次引领半导体产业迈入新的高度。随着制程工艺的不断缩小,半导体制造技术的难度也在不断增加。目前,能够量产的最先进制程工艺...
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